先評估供應重要製程或廠務設備的中壓開關櫃與低壓配電盤，依供電影響與備援條件排定優先順序，再選定盤內接點。被動式 RFID 感測器須先停電安裝，復電後可由固定式系統持續採集溫度，或由人員使用手持巡檢系統巡檢讀取。收到告警後，由負責人核對測點、發生時間及運轉條件，安排現場檢查，並記錄處置與維護後追蹤結果。
半導體廠應優先監測哪些配電設備與接點？
先盤點供應關鍵機台，以及真空泵、空壓機等共用廠務設備的中壓開關櫃與低壓配電盤，確認供電對象及服務範圍。共用廠務設備若同時服務多個製程區域，停機影響可能跨區延伸；排序時要一起看可用備援、恢復運轉需求與既有異常紀錄。
- 關鍵機台供電盤：將盤號與機台名稱、出線回路及相別對照，讓異常讀值能找到對應機台，而不只留下「某盤過熱」。
- 共用廠務供電盤：把真空泵、空壓機的服務區域與主備關係一併記錄，確認備援設備是否也依賴同一段上游供電。
選定盤櫃後，再評估電纜端子、斷路器接點及匯流排接合處等測點，確認盤體空間、絕緣及安裝條件，並讓點位名稱對應實際部位。測點優先序與配置原則，可參考官網的配電熱點與測點規劃。
固定式與手持式，如何對應不同盤櫃？
應依設備重要性、需要資料的時段及異常警示需求，選擇適合的監測方式。
- 固定式：對長時間連續運轉、需掌握夜間或巡檢間隔變化的重要廠務供電盤，以天線與固定式溫度採集器持續讀取已安裝的 RFID 感測器，依配置查看趨勢與異常警示。
- 手持式：對數量多、位置分散、重要性次之，且巡檢頻率足以滿足需求的盤櫃，可編入巡檢路線；人員到場後，在有效讀取範圍內掃描已安裝的感測器，核對點位並留下當次讀值。
資料查看也可從本地儀表開始。PQSense 測溫系統可獨立運作，不依賴雲端；後續是否接入其他監控系統或雲端，再依廠內需求確認。
收到告警後，如何分工並安排處置時機？
收到告警後，先核對盤號、接點、時間及當時負載，再確認受影響的是單一機台還是共用廠務系統。溫度提供調查線索，原因仍需現場檢查確認；以下分工可納入既有異常處理程序：
- 廠務：確認供電範圍、備援及配電設備狀態，依安全程序協調檢查與停送電。
- 設備工程：比對機台啟停、負載與設備狀態，協助判斷異常對機台運轉的影響及復歸條件。
- 生產：盤點受影響批次與製程安排，配合必要處置協調停機及恢復生產時段。
處置時機應由合格人員依現場風險與安全程序決定；符合緊急條件時須立即處理。經評估可持續運轉的非緊急情況，可先加強觀察並安排歲修或機台預防保養（PM）窗口。處置時機需綜合溫度趨勢、負載與現場風險判斷，不以單一溫度門檻作為唯一依據。
維護後在相近負載與運轉條件下複查同一接點，將讀值與實際處置對照，確認改善是否持續。
維護紀錄至少保留：測點與時間、當時運轉條件、接手人與檢查發現、處置及後續複查結果。
安裝時機與交付驗收
感測器安裝可納入歲修或年度保養的停電窗口，由廠務與生產先確認受影響機台、共用廠務服務及復電安排；須停電並完成安全確認後施工。交付時保留三項確認：
- 核對點位與功能。 確認感測器 ID、設備名稱及實際位置一致，並依配置檢查資料更新、歷史查閱與告警功能。
- 確認人員交接。 讓使用人員知道從哪裡查找異常測點、由誰接手，以及如何記錄尚未完成的工作。
- 累積運轉基準。 部分功能測試可在復電前完成；恢復運轉後，再記錄不同負載與設備運轉時段的溫度，供後續比較。
更換斷路器或變更供電用途後，再核對受影響測點及紀錄。
半導體廠各類配電設備的監測重點總覽，見《資料中心與半導體廠應監控哪些配電設備與發熱點？溫度監測完整指南》。
規劃 PQSense 無線溫度監測方案
PQSense 可協助現場評估盤櫃、測點與監測方式，配合停電安排規劃配置。
在半導體產業，台灣一家大型封測廠已將 PQSense 列為全廠標準配備，部署超過 1,300 套；晶圓代工與記憶體廠也已導入。
以下為固定式配置的規格速覽，感測器免電池可減少更換電池的工作：
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 系統組成 | 免電池 RFID 溫度感測器、測溫天線、固定式溫度採集器。 |
| 供電方式 | 感測器免電池；固定式採集器需外部供電。 |
| 適用測點 | 依感測器型號配置於適用的銅排接合、斷路器觸頭或電纜接點。 |
| 資料介面 | 固定式採集器支援 RS485／Modbus RTU；與既有平台的連接方式及告警分工須於導入時確認。 |
| 感測器量測範圍與精度 | 已列規格之感測器型號：−20～125°C；精度 ±2°C。 |
| 部署實績 | 自 2017 年起，於 17 個國家、300 多個廠區部署 16,000 套以上系統（依 PQSense 2026 年 10 月實績資料）。關於 PQSense |
聯絡我們，討論監測部位與日常維護需求。
延伸閱讀：半導體廠如何降低配電設備異常發熱造成的非預期停機？進一步了解供電影響、備援與維護時機的判斷。
FAQ
不同接點可以設定相同的告警溫度嗎？
不宜直接套用同一數值。告警設定需考慮設備允許的運轉條件、導體與絕緣材料、負載及歷史溫度。即使是同類設備，也應確認實際使用條件，再由相關人員共同決定門檻。
機台已有溫度監控，還需要監測供電盤嗎？
要先確認原有監控量的是哪裡。機台內的製程腔體、冷卻系統或設備本體溫度，與上游供電盤的電纜端子、斷路器接點及匯流排接合處，是不同量測對象；若原系統未涵蓋這些供電接點，就不能用機台溫度代替判斷。
處置後溫度回落，就代表問題已排除嗎？
不一定。負載下降或機台暫停也會讓接點降溫；應先確認回落與處置的關係，再於相近負載及運轉條件下複查。保留檢查發現與處理紀錄，若後續溫升反覆出現，仍需重新調查。
延伸技術資料與影片
- 電機電子工程師學會（IEEE）發布的連續溫度監測指南，涵蓋 52 kV 以下開關設備與馬達控制中心的連續溫度監測。
- PQSense RFID 溫度監控：電力設備防護解決方案
- 工業智慧溫度巡檢：PQSense 免電池 RFID 手持式解決方案
